1. 離子值入後的 Annealing都會用到 (做Diffusion) , 如果是金屬廠商又不一樣
2. 加熱
3. 跟家用烤箱原理差不多, 再多加些氣體 (以半導體製程)
4. 高價跟低價吧
5. 網路照片恕不幫忙, google找一下
6. 針對設備結構 , 可調整參數 , 研究一下 , 可參考 半導體物理與製程 施敏 , 半導體設備
等書籍
7. 點數越多越好啦 3Q
2013-11-22 10:29:09 補充：
Sorry : 第一項修正一下
1. 離子值入 , 材料接合(鍍膜) 後的Annealing 都會用到
以下文章來自: https://tw.answers.yahoo.com/question/index?qid=20131121000016KK00158熱泵,太陽能熱水器-誠芳太陽能熱泵廠商
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